CÔNG NGHỆ HISEMI
Mới đây, HISEMI TECHNOLOGY đã chính thức cho ra mắt thiết bị mài và đánh bóng chính xác trong phòng thí nghiệm trạm kép thế hệ mới. Sản phẩm mới tập trung vào các kịch bản mài và đánh bóng mẫu hàng loạt nhỏ cho các vật liệu cứng và giòn chẳng hạn như chất bán dẫn thế hệ thứ ba, tinh thể quang học và gốm sứ đặc biệt, lấp đầy khoảng trống trong việc bản địa hóa thiết bị chuẩn bị mẫu có độ chính xác cao-trong nghiên cứu khoa học trong nước.
Sự phát triển của vật liệu bán dẫn mới đã thúc đẩy nhu cầu mài và đánh bóng chính xác
Với sự mở rộng nhanh chóng của các ngành công nghiệp bán dẫn thế hệ thứ ba-như cacbua silic (SiC) và gali nitrit (GaN), các trường đại học lớn, viện nghiên cứu và phòng thí nghiệm R&D của doanh nghiệp bán dẫn đang liên tục nâng cấp các yêu cầu của họ về độ phẳng của chất nền, độ chính xác của độ dày và các chỉ số độ nhám bề mặt. Thiết bị nghiền một trạm truyền thống có những điểm yếu như hiệu suất xử lý thấp, kiểm soát áp suất không đồng đều và khả năng lặp lại quy trình kém. Thiết bị mài chính xác nhập khẩu cũng có những vấn đề như chi phí mua sắm cao, chu kỳ bảo trì dài và khó khăn trong việc tùy chỉnh và chuyển đổi. Dựa trên nhu cầu thực tế của việc nghiên cứu và phát triển vật liệu mới trong nước, Hemei Semiconductor dựa trên nhiều năm kinh nghiệm trong nghiên cứu và phát triển thiết bị mài chính xác, liên tục tối ưu hóa thiết kế kết cấu và triển khai máy mài và đánh bóng chính xác thông minh hai trạm này.
Thiết kế trạm kép giúp cải thiện hiệu quả quy trình
1. Thiết kế trạm kép độc lập: Thiết bị được trang bị hai bộ máy trạm độc lập và thiết bị cố định thích ứng (Jjg) được trang bị mô-đun giám sát độ dày kỹ thuật số, có thể giám sát lượng loại bỏ mài mẫu trong thời gian thực trực tuyến, với độ chính xác 1 μ m và áp suất cố định có thể điều chỉnh. Thiết kế trạm kép có thể xử lý và điều chỉnh hình dạng của đĩa cùng một lúc, đồng thời có thể xử lý đồng thời số lượng mẫu lớn hơn, hiệu quả gần gấp đôi so với xử lý máy đơn truyền thống.
2. Hệ thống điều khiển quy trình cảm ứng thông minh áp dụng hệ điều hành cảm ứng công nghiệp Huichuan INOVANCE, hỗ trợ lưu trữ và truy xuất nhiều bộ công thức quy trình nghiền. Nó có thể thiết lập chính xác tốc độ đĩa mài, thời gian nghiền, tải áp suất và các thông số phun chất lỏng nghiền, đồng thời dễ dàng truy cập các quy trình hoàn thiện chỉ bằng một cú nhấp chuột, giảm đáng kể lỗi của con người và đảm bảo tính nhất quán trong xử lý mẫu.
3. Hệ thống cung cấp chất lỏng chính xác đạt tiêu chuẩn với 2 đường ống nhỏ giọt chất lỏng mài độc lập, có thể cung cấp các vật tư tiêu hao như chất lỏng mài kim cương và chất lỏng đánh bóng alumina trong thời gian thực theo quy trình mài, tối ưu hóa môi trường mài bề mặt, giảm hiệu quả hiện tượng vỡ và trầy xước cạnh wafer, đồng thời thích ứng với nhiều loại chất nền cứng và giòn khác nhau như tấm silicon wafer, saphia, cacbua silic, gốm áp điện, v.v.
4. Thiết kế thân máy tiêu chuẩn hóa an toàn: Thiết bị sử dụng thân máy chống gỉ tích hợp, được trang bị nút an toàn dừng khẩn cấp và công tắc bảo vệ nguồn. Cấu trúc nhỏ gọn và chiếm diện tích nhỏ, thích ứng hoàn hảo với môi trường đặt bàn trong phòng thí nghiệm, cân bằng độ ổn định của thiết bị và an toàn vận hành.
Chuẩn bị mẫu nghiên cứu trên nhiều lĩnh vực
Thiết bị mới này chủ yếu nhắm vào ba lĩnh vực ứng dụng chính:
1. Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn thế hệ thứ ba: Làm mỏng chất nền SiC/GaN, đánh bóng gương, dùng để chuẩn bị mẫu trước khi thử nghiệm tính chất vật lý, hóa học và tính chất điện của vật liệu;
2. Công nghiệp quang học và pha lê: Đánh bóng chính xác kính quang học, chất nền sapphire và mặt cuối của tinh thể thạch anh để đáp ứng nhu cầu về lớp phủ quang học và mẫu thử nghiệm hiệu suất truyền ánh sáng;
3. Lĩnh vực nghiên cứu vật liệu mới: mài và đánh bóng các vật liệu phi kim loại vô cơ-đặc biệt như gốm alumina, lithium niobate, gallium arsenide, vật liệu composite kim cương, v.v.
Đẩy nhanh quá trình thay thế thiết bị mài chính xác trong nước
Trước đây,-thiết bị mài chính xác cao cấp dành cho phòng thí nghiệm ở Trung Quốc từ lâu đã dựa vào các mẫu máy nhập khẩu từ Châu Âu, Châu Mỹ và Nhật Bản. Việc triển khai máy mài và đánh bóng trạm kép này của Hemei Semiconductor đã đánh chuẩn các sản phẩm nhập khẩu tương tự về độ chính xác xử lý và kiểm soát thông minh, đồng thời giảm đáng kể chi phí mua sắm và chi phí sau vận hành. Thiết bị này đã được đưa vào sử dụng thử nghiệm tại một số trường đại học Double First Class ở Trung Quốc, bao gồm Trường Khoa học và Công nghệ Vật liệu, Phòng thí nghiệm trọng điểm về Chất bán dẫn thế hệ thứ ba và Trung tâm R&D của các Doanh nghiệp Bán dẫn Điện hàng đầu.
Phân tích ngành cho thấy rằng với sự tăng tốc của quá trình nội địa hóa chất bán dẫn thế hệ thứ ba và vật liệu quang học tiên tiến ở Trung Quốc, nhu cầu nội địa hóa thiết bị xử lý sơ bộ chính xác trong phòng thí nghiệm tiếp tục tăng. Các nhà sản xuất thiết bị trong nước tiếp tục cải tiến công nghệ của họ, điều này sẽ phá vỡ hơn nữa sự độc quyền của các thương hiệu nước ngoài và cải thiện chuỗi công nghiệp vật liệu bán dẫn mới hỗ trợ trong nước.
